LTB飞米级极高精度光谱分辨技术助力中国紫外光刻产业部

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2019年1月15日，德国LTB极高分辨率中阶梯光栅光谱仪- ELIAS-III 和极高绝对波长精度测量校准监控光谱仪- ELIAS-WAVEMETER 在上海微电子装备(集团)股份有限公司（SMEE）顺利完成安装调试工作，为中国紫外光刻产业助力。

ELIAS系列是世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（Littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。其中ELIAS-III提供四倍色散光程，分辨率水平是ELIAS-I的四倍；

· Intensity dynamics of up to 4 orders

· 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

· 极高成像质量

· 简单没有失误的操作控制

· Motorized optomechanics

ELIAS-Wavemeter在ELIAS-I的基础上提供了真空光学腔室及相关空心阴极灯做为校准基准，可提供0.1pm的绝对波长精度，提供目前业界最高级别的绝对波长测量、校准、监控。