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LTB飞米级极高精度光谱分辨技术助力中国紫外光刻产业部

2019年1月15日,德国LTB极高分辨率中阶梯光栅光谱仪- ELIAS-III 和 极高绝对波长精度测量校准监控光谱仪- ELIAS-WAVEMETER 在上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)顺利完成安装调试工作,为中国紫外光刻产业助力。


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ELIAS-III 

ELIAS系列是世界领先的中阶梯光栅光谱仪,在利特罗(Littrow)结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析,尤其是准分子激光光刻技术。其中ELIAS-III提供四倍色散光程,分辨率水平是ELIAS-I的四倍;

    · Intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · Motorized optomechanics



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ELIAS-WAVEMETER 

ELIAS-Wavemeter在ELIAS-I的基础上提供了真空光学腔室及相关空心阴极灯做为校准基准,可提供0.1pm的绝对波长精度,提供目前业界最高级别的绝对波长测量、校准、监控。




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