ELIAS 家族极高分辨率发射谱线分析光谱仪 ·

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ELIAS-II 系列中阶梯光谱仪

• 光 阑:f/50 • 光谱解析能力:2.5 Mio.-10 Mio. (λ/∆λFWHM) • 最大波长范围:157-1,100 nm (λmax range) • 同步探测范围:8-400 pm (λsimul) • 波 长 范 围:190-550 nm (λtyp) • 分 辨 率:85-240 fm (FWHM)

  • 产品简介

ELIAS-II

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪


世界领先的中阶梯光栅光谱仪,在利特罗(Littrow)结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析,尤其是准分子激光光刻技术。

    · Intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · Motorized optomechanics

elias光学方案.jpg

ELIAS的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率(femtometer level);LTB的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率:    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素(CCD)来解析光谱谱线的半高宽;

ELIAS利用宽达360mm的超大中阶梯光栅(Echelle grating)以利特罗(Littow)自准直结构构成光路;ELIAS不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备,ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布,可通过CCD实现宽光谱直拍,因此ELIAS非常适合脉冲激光光谱的分析应用(通过外部TTL触发可协同激光器工作)。ELIAS可以配置背照型科学级CCD作为探测器可获得非常理想的信噪比(104



规格参数(Specifications)  



可探测信号模式

CW/Pulsed

最大可探测光谱范围

190~1100nm(157nm possible)

最高光谱解析能力(λ/∆λ)

8,800,000

最高光谱分辨率

22fm@193nm

最高绝对光谱精度0.1pm
最大光谱窗口

>0.8nm

最低可探测脉冲能量

<10μJ

信号输入模式

Fiber,SMA,Mirror,Free Space

校准方式

full auto/Manual;Hg(Neon)Lamp

触发模式

TTL+5V

工作环境要求

温度:10~30℃;湿度:<65%


ELIAS II : 相较ELIAS I 拥有更高的光谱解析能力,优化了了冷却方案的高速快门和高分辨率探测器系统,对于时间分辨光谱的测量,能显著提高信噪比。

ModelELIAS II
Passdouble
Wavelength [nm]λsimul [pm]
157-
19316.4
24822.5
26629.7
53259.4
76692.5
1,064200
Wavelength [nm]FWHM [pm]
157-
1930.060
2480.082
2660.112
5320.225
7660.339
1,0640.450



应用领域(Application)

    

    · 激光诱导击穿光谱(LIBS)

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线



光谱样图(Spectrum sample figure)


暂无样图



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