ELIAS-III

发射谱线分析光谱仪系列

世界最高分辨率的中阶梯光栅光谱仪

世界领先的中阶梯光栅光谱仪，在利特罗（Littrow）结构中拥有最高的光谱解析能力-用于高分辨率的发射和吸收谱线的分析，尤其是准分子激光光刻技术。

    · Intensity dynamics of up to 4 orders

    · 最高光谱解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 极高成像质量

    · 简单没有失误的操作控制

    · Motorized optomechanics

ELIAS的超高分辨率得益于超大中阶梯光栅的应用及与之匹配的光路设计——中阶梯光栅通过非常高的衍射级次可获得极高的理论分辨率（femtometer level）；LTB的工程师通过两个方面的设计实现超大中阶梯光栅的理论分辨率：    

    · 逼近衍射极限的消色差成像光路

    · 足够高的线色散来确保以5~10个像素（CCD）来解析光谱谱线的半高宽；

ELIAS利用宽达360mm的超大中阶梯光栅（Echelle grating）以利特罗（Littow）自准直结构构成光路；ELIAS不同于靠干涉方式测量光谱的分析设备，ELIAS的中阶梯光栅的高衍射级次及高级次等效于零级的衍射能量分布，可通过CCD实现宽光谱直拍，因此ELIAS非常适合脉冲激光光谱的分析应用（通过外部TTL触发可协同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科学级CCD作为探测器可获得非常理想的信噪比（10⁴）

规格参数（Specifications）  

ELIAS III : 集成了反光镜的ELIASII的增强型，可以使用四次中阶梯光栅，使得其光谱分析能力是ELIASII的四倍。

应用领域（Application）

    · 激光诱导击穿光谱（LIBS）

    · 准分子激光光刻技术

    · 测量二极管激光器的光谱、时间稳定度和固态激光器的发射谱线

光谱样图（Spectrum sample figure）

        暂无样图

相关资料下载（Data download）

        ELIAS系列产品资料.pdf

        LTB-中阶梯光栅光谱仪.pdf

相关视频（Video）

由ELIAS系列光谱仪观测到的HeNe激光纵模的模式竞争：

产品新闻（Product News）                                                                                      

    -- LTB飞米级极高精度光谱分辨技术助力中国紫外光刻产业部      ----------2019-01-15